K-359S1

モーター
安川電機社製プリントモーター75W
回転数
100～6000rpm
回転精度
±0.2%/3000rpm
電源入力
AC100V 7A
表示パネル
タイマー３桁　0～999sec　回転計4桁（各数字表示LED使用）
ステップ数
プログラマブル2ステップ
試料固定
真空吸着法
真空ポンプ配管ノズル
外径6mmφ（左側面）
最大試料寸法
ウェハー4インチφ
受け皿
内径270mmφ SUS製
寸法
W 340×D 420×H 220mm
重量
約17kg
オプション
御指定型試料台、真空ポンプ