K-359SD1
- モーター
- 安川電機社製プリントモーター75W
- 回転数
- 50～7000rpm
- 回転精度
- ±0.2%/3000rpm
- 真空スイッチ開閉
- ON460mmHg OFF400mmHg
- 電源入力
- AC100V 7A
- 表示パネル
- タイマー３桁 0～999sec 回転計4桁（各数字表示LED使用）
- ステップ数
- プログラマブル3ステップ
- 試料固定
- 真空吸着法
- 真空ポンプ配管ノズル
- 外径6mmφ（左側面）
- 最大試料寸法
- ウェハー6インチφ
- 受け皿
- 内径270mmφ SUS製
- 寸法
- W 395×D 470×H 240mm
- 重量
- 約23kg
- オプション
- 御指定型試料台、真空ポンプ