K-359SD2

モーター
安川電機社製プリントモーター75W
回転数
50~7000rpm。
回転精度
±0.2%/3000rpm
真空スイッチ開閉
ON460mmHg OFF400mmHg
電源入力
AC100V 7A
表示パネル
タイマー3桁 0~999sec 回転計4桁(各数字表示LED使用)
ステップ数
プログラマブル3ステップ
試料固定
真空吸着法
真空ポンプ配管ノズル
外径6mmφ(左側面)
最大試料寸法
ウェハー8インチφ
受け皿
内径380mmφ SUS製
寸法
W 520×D 625×H 245mm
重量
約35kg
オプション
御指定型試料台、真空ポンプ